Les estructures de vàlvules de regulació de pressió de flux creuat són atractives per a aplicacions de control de pressió d'alt flux a causa de la disminució de la força d'actuació necessària i la reducció de l'àrea de petjada del dispositiu. Es va fabricar una vàlvula de porta de ganivet, controlant un cabal d'1,3 Nl/min a una pressió d'alimentació d'1,5 bar. La vàlvula es va micro fabricar mitjançant gravat d'ions reactius profunds (DRIE) i enllaç de fusió de silici. L'ús de vàlvules de porta de ganivet micro mecanitzades en sistemes de control de pressió millora el rendiment i es pot realitzar un estalvi de costos.
Productes més populars
Enviar la consulta